عنوان مقاله	عوامل موثر بر پاسخ گذراي حسگرهاي مقاومتي گاز
نشریه	فني و مهندسي مدرس زمستان 1384
نویسنده	عروتي نيا محمد,حسين بابايي فرامرز
حجم فایل	2523 کیلو بایت
دریافت مقاله

 حسگر گاز، اكسيد قلع، اكسيد روي، پاسخ گذرا، LPCVD ، PVD، EPD

 لايه هاي حساس به گاز به كار رفته در ساخت حسگرهاي مقاومتي گاز به روشهاي گوناگوني ساخته مي شوند. در اين مقاله براي اولين بار تاثير روش ساخت در يكي از مهمترين ويژگيهاي كاربردي اين حسگرها يعني پاسخ گذرا، به طور عملي بررسي شده است. لايه هايي از اكسيدهاي قلع و روي به روشهاي LPCVD، PVD، EPD و "پرس كم فشار پودر" تهيه شد. حسگرهاي مقاومتي گاز ساخته شده بر اساس اين لايه ها مورد آزمايش قرار گرفت. پاسخ گذراي اين حسگرها به تغيير پله اي در تركيب اتمسفر، ثبت و مقايسه شد. بر اساس اين مقايسه مشخص شد كه ضخامت لايه، بافت و مقدار تخلخل در ساختار لايه حساس همراه با جرم ملكولي گاز هدف، موثرترين عوامل در تعيين پاسخ گذرا هستند. چگونگي ارتباط اين عوامل با تغيير زماني هدايت الكتريكي در حسگر مورد تحليل كيفي قرار گرفت و ملاحظه شد كه سرعت پاسخ به طور مستقيم با ضريب تخلخل لايه حساس مرتبط است، ليكن زمان پاسخ با افزايش ضخامت لايه حساس و افزايش جرم ملكولي گاز هدف افزايش مي يابد. حسگر حاصل از روش EPD با دارا بودن بيشترين تخلخل در ميان حسگرهاي ساخته شده، سريعترين و حسگرهاي ساخته شده به روش CVD، علي رغم داشتن ضخامت كم - به علت پايين بودن ضريب تخلخل - كندترين بودند.